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日本filmetrics F3-sX板厚測(cè)量系統(tǒng) 測(cè)厚儀
更新日期:2024-05-15
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廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
生產(chǎn)地址:
簡(jiǎn)要描述:
日本filmetrics F3-sX板厚測(cè)量系統(tǒng)可以高精度測(cè)量硅基板和玻璃基板的厚度。通過(guò)安裝最初開(kāi)發(fā)的具有高波長(zhǎng)分辨率的光譜儀,可以測(cè)量高達(dá) 3 mm 的厚膜。
日本filmetrics F3-sX板厚測(cè)量系統(tǒng)
可以高精度測(cè)量硅基板和玻璃基板的厚度。
通過(guò)安裝最初開(kāi)發(fā)的具有高波長(zhǎng)分辨率的光譜儀,可以測(cè)量高達(dá) 3 mm 的厚膜。
憑借 10 μm 的小光斑直徑,可以測(cè)量粗糙和不均勻的薄膜。
通過(guò)添加自動(dòng)載物臺(tái),可以輕松測(cè)量面內(nèi)分布。
主要特點(diǎn)
高精度測(cè)量硅基板和玻璃基板的厚度
配備自主研發(fā)的高波長(zhǎng)分辨率分光鏡!可測(cè)量高達(dá) 3 mm 的厚膜
10 μm 的小光斑直徑可以測(cè)量粗糙和不均勻的薄膜。
通過(guò)添加自動(dòng)平臺(tái)輕松測(cè)量面內(nèi)分布
主要應(yīng)用
半導(dǎo)體 | 硅基板、LT基板、Ti基板等的厚度測(cè)量 |
---|---|
平板顯示器 | 測(cè)量玻璃基板厚度和氣隙 |
產(chǎn)品陣容
模型 | F3-s980 | F3-s1310 | F3-s1550 |
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測(cè)量波長(zhǎng)范圍 | 960 – 1000nm | 1280 – 1340nm | 1520 – 1580nm |
膜厚測(cè)量范圍 | 4 微米 – 350 微米 | 7 微米 – 1 毫米 | 10 微米 – 1.3 毫米 |
膜厚測(cè)量范圍 (玻璃基板) | 10 微米 – 1 毫米 | 15 微米 – 2 毫米 | 25 微米 – 3 毫米 |
準(zhǔn)確性 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ||
測(cè)量光斑直徑 | 10微米 |
*取決于樣品和測(cè)量條件
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