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日本pureron高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器

日本pureron高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器

更新日期:2024-05-12

訪問(wèn)量:785

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
日本pureron高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器UCS-m系列
UCS-M系列: 管狀部件 過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量15~250L/min

日本pureron高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器UCS-m系列

日本pureron高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器UCS-m系列

 

金屬氣體過(guò)濾器

全部采用SUS316L材質(zhì)制造,緊湊式設(shè)計(jì)、高過(guò)濾精度、耐高溫(460℃)用于ULSI制造的高性能氣體過(guò)濾器。

  • UCD系列: 圓盤(pán)狀部件過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量10~100L/min
  • RGF系列: 管狀部件 過(guò)濾精度0.1~10μm 推薦流量40~60L/min
  • UCS-M系列: 管狀部件 過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量15~250L/min

 高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器 UCS-m系列

 

  • 全部材質(zhì)采用SUS316L不銹鋼
  • 高清浄度:全部產(chǎn)品在交付前經(jīng)過(guò)內(nèi)部特殊洗凈,通入高純度氮?dú)獾耐瑫r(shí)進(jìn)行高溫烘烤處理。
  • 高流量、高壓差下也可以高效去除0.003μm以上的粒子。
  • 高內(nèi)熱性 460℃
  • 具備10?/min的小流量到250?/min的中流量各種型號(hào)。
  • 低壓力損失:和以往的金屬過(guò)濾器相比,壓力損失非常低,體積小巧但能夠處理高流量氣體。

 

過(guò)濾精度0.003μm
推薦流量10M…15?/min、13M…60?/min、19M…120?/min、24M…250?/min
設(shè)計(jì)壓力17MPa (2,465PSIG) at20℃本產(chǎn)品全部經(jīng)過(guò)14.7MPa的耐壓測(cè)試后出貨。但是,依據(jù)日本國(guó)內(nèi)的高壓氣體保安法,使用壓力的顯示和使用是不超過(guò)1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認(rèn)定品,請(qǐng)?jiān)儐?wèn)我們。
常用壓力1MPa(145PSIG)未滿
容許差壓15MPa(2,175PSIG) at20℃
使用溫度460℃(惰性氣體)
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
構(gòu)成材料外罩:SUS316L(電解研磨處理) 元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.5μm以下
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格烘烤、純水特殊洗凈(過(guò)濾器內(nèi)部)
連接零件1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它
 
 

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