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日本pureron高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器
更新日期：2024-05-12
訪問(wèn)量：785
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：
簡(jiǎn)要描述：
日本pureron高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器UCS-m系列UCS-M系列： 管狀部件 過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量15～250L/min
日本pureron高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器UCS-m系列
日本pureron高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器UCS-m系列
金屬氣體過(guò)濾器
全部采用SUS316L材質(zhì)制造，緊湊式設(shè)計(jì)、高過(guò)濾精度、耐高溫（460℃）用于ULSI制造的高性能氣體過(guò)濾器。
- UCD系列： 圓盤(pán)狀部件過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量10～100L/min
- RGF系列： 管狀部件 過(guò)濾精度0.1～10μm 推薦流量40～60L/min
- UCS-M系列： 管狀部件 過(guò)濾精度0.003μm 推薦流量15～250L/min
高過(guò)濾精度全金屬氣體過(guò)濾器 UCS-m系列
- 全部材質(zhì)采用SUS316L不銹鋼
- 高清浄度：全部產(chǎn)品在交付前經(jīng)過(guò)內(nèi)部特殊洗凈，通入高純度氮?dú)獾耐瑫r(shí)進(jìn)行高溫烘烤處理。
- 高流量、高壓差下也可以高效去除0.003μm以上的粒子。
- 高內(nèi)熱性 460℃
- 具備10?/min的小流量到250?/min的中流量各種型號(hào)。
- 低壓力損失:和以往的金屬過(guò)濾器相比，壓力損失非常低，體積小巧但能夠處理高流量氣體。
| 過(guò)濾精度 | 0.003μm | |
|---|---|---|
| 推薦流量 | 10M…15?/min、13M…60?/min、19M…120?/min、24M…250?/min | |
| 設(shè)計(jì)壓力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本產(chǎn)品全部經(jīng)過(guò)14.7MPa的耐壓測(cè)試后出貨。但是，依據(jù)日本國(guó)內(nèi)的高壓氣體保安法，使用壓力的顯示和使用是不超過(guò)1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認(rèn)定品，請(qǐng)?jiān)儐?wèn)我們。 |
| 常用壓力 | 1MPa(145PSIG)未滿 | |
| 容許差壓 | 15MPa(2,175PSIG) at20℃ | |
| 使用溫度 | 460℃（惰性氣體） | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 | |
| 構(gòu)成材料 | 外罩：SUS316L（電解研磨處理） 元素：SUS316L 內(nèi)表面粗糙度：Rmax0.5μm以下 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 烘烤、純水特殊洗凈（過(guò)濾器內(nèi)部） | |
| 連接零件 | 1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它 | |
