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日本pureron預處理用全金屬氣體過濾器
更新日期:2024-05-12
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廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:
簡要描述:
日本pureron預處理用全金屬氣體過濾器RGF系列過濾精度范圍寬可以對應固定或脈沖方式下的0.1~10μm過濾精度。
日本pureron預處理用全金屬氣體過濾器RGF系列
日本pureron預處理用全金屬氣體過濾器RGF系列
預處理用全金屬氣體過濾器 RGF系列
- 過濾精度范圍寬
可以對應固定或脈沖方式下的0.1~10μm過濾精度。 - 高耐腐蝕性
過濾器沒有采用腐蝕性材料,不用擔心被腐蝕或者生成中間產(chǎn)物。 - 排氣特性
和的烘烤加熱器并用,APIMS方式測定的排氣(水分量)能夠達到1.2ppb。繼續(xù)使用可以達到0.1ppb的水平。過濾器內(nèi)部的雜質(zhì)預先采用特殊洗凈方式去除,排氣性能更加出色。
過濾精度 | 0.1、0.5、1.0、5.0、10μm 各種 | |
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推薦流量 | 尺寸大小 E 尺寸…40?/min、T 尺寸…60?/min | |
設(shè)計壓力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本產(chǎn)品全部經(jīng)過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是,依據(jù)日本國內(nèi)的高壓氣體保安法,使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認定品,請詢問我們。 |
常用壓力 | 1MPa(145PSIG)未滿 | |
容許差壓 | 2MPa(290PSIG) at20℃ | |
使用溫度 | 400℃ | |
外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 | |
構(gòu)成材料 | 外罩:SUS316L(電解研磨處理) 元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 | |
連接零件 | 1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它 |
金屬氣體過濾器
全部采用SUS316L材質(zhì)制造,緊湊式設(shè)計、高過濾精度、耐高溫(460℃)用于ULSI制造的高性能氣體過濾器。
- UCD系列: 圓盤狀部件過濾精度0.003μm 推薦流量10~100L/min
- RGF系列: 管狀部件 過濾精度0.1~10μm 推薦流量40~60L/min
- UCS-M系列: 管狀部件 過濾精度0.003μm 推薦流量15~250L/min