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日本fuji單組分密度計FUD-1 Model-13

日本fuji單組分密度計FUD-1 Model-13

更新日期：2024-05-15

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廠商性質：經銷商

生產地址：

簡要描述：
日本fuji單組分密度計FUD-1 Model-13
該型號在保留 FUD-1 Model-13 的可維護性和高精度在線測量等優(yōu)點的同時，配備了用于半導體制造工藝的小型單元發(fā)射器。

日本fuji單組分密度計FUD-1 Model-13

產品概覽

該型號在保留 FUD-1 Model-13 的可維護性和高精度在線測量等優(yōu)點的同時，配備了用于半導體制造工藝的小型單元發(fā)射器。

單組分密度計的特點

實時濃度測量成為可能，并且易于構建濃度控制系統(tǒng)。

  • 標配模擬DC4-20mA和數字RS232C

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 標配自診斷功能和錯誤信息顯示

  • 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的質量和小輸出設計，對化學溶液沒有影響。


優(yōu)點

  • 可進行高精度連續(xù)測量

  • 免維護，無需定期調整和校準

  • 安裝方便，安裝過程中無需進行各種調整

  • 通過實時輸出輕松反饋過程


用途

  • CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等。

  • 稀釋過程中各種化學品的濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

  • 清洗過程中清洗液濃度控制（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

  • 蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）



日本fuji單組分密度計FUD-1 Model-13

規(guī)格

格式FUD-1 Model-13
測量參數超聲波傳播速度/溫度
展示LCD（濃度/溫度/聲速/各種參數）
輸出信號模擬DC4至20mA（可自由設定濃度值）
數字RS232C（濃度/溫度/聲速/錯誤代碼）
報警 上限/下限測量錯誤
電源AC100V-240V 50 / 60Hz（也可使用DC24V）
結構體面板安裝型（符合 DIN 標準）、板內安裝型（可作為選項集成到防雨箱中）
環(huán)境溫度0～50℃RH 85%以下（不結露）
0～100℃特殊規(guī)格-10～160℃（100℃寬）
功能輸出范圍設置、報警輸出設置、密度顯示移動平均、密度顯示偏移和增益設置功能、自診斷功能、故障保護功能、異常值取消
RS485輸出（不能與RS232C同時輸出）
選項溫度輸出（DC4-20mA）
渠道高達 10 通道
兼容發(fā)射器Model-13 : SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5



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