Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐,可用于處理φ50mm以內的樣品。
用于處理φ20mm以內的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求,Advance Riko在Mila-5000的基礎上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續(xù)了MILA5000的緊湊設計,是一款集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。
桌面型快速退火爐(2inch)MILA-5050
日本advance-riko進口MILA-5050 桌面型快速退火爐(2inch)
MILA-5050 桌面型快速退火爐(2inch)
用途
- 硅片和復合圓晶的快速退火
- 電子材料的快速熱退火,例如光學CVD的基板
- 玻璃基板,陶瓷和復合材料等的熱處理
- 熱循環(huán)測試
- 金屬材料的熱退火
- 涂膜的耐熱性評估
- 有機材料和樹脂的加熱和干燥
特長
- 可對φ50mm以內的樣品進行熱處理
- 熱處理溫度1200℃
- 集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型設計
- 搭配水冷循環(huán)腔體,可進行潔凈的快速升降溫。
- 通過USB連接,可將溫控程序輸入到電腦
- 加熱過程中可通過電腦監(jiān)測溫度數據;
仕様
控溫范圍 | RT ~ 1200 °C |
---|---|
升溫速率 | 50 °C/s |
樣品尺寸 | □ 50 or φ 50 × t 2 (mm) |
氣氛 | 真空,流動氣氛 |
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