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日本pureron排氣過(guò)濾器FBA系列

日本pureron排氣過(guò)濾器FBA系列

更新日期：2024-05-12

訪問(wèn)量：652

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商

生產(chǎn)地址：

簡(jiǎn)要描述：
日本pureron排氣過(guò)濾器FBA系列
全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
優(yōu)良的耐熱性
*過(guò)濾精度
圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/div>

日本pureron排氣過(guò)濾器FBA系列

日本pureron排氣過(guò)濾器FBA系列

 

排氣過(guò)濾器　FBA系列

制造半導(dǎo)體元器件裝置在裝填-閉鎖真空室（load-lock chamber）和傳送室（transfer chamber）里進(jìn)行真空破壞，那時(shí)候浮粒子會(huì)卷起來(lái)和發(fā)生過(guò)渡性亂流，這些都會(huì)導(dǎo)致晶片損壞。跟以往的方法：把氮?dú)饩徛卮颠M(jìn)到室內(nèi)—相比，只用FBA排氣過(guò)濾器就能夠避免那樣現(xiàn)象且提高生產(chǎn)率。

特點(diǎn)

  • 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
  • 優(yōu)良的耐熱性
  • *過(guò)濾精度
  • 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>

 

 

過(guò)濾精度0.003μm
常用壓力1MPa未滿(mǎn)
使用溫度400℃
加熱溫度400℃
接觸氣體材質(zhì) 不銹鋼SUS316L
接頭1/4“和3/4”tube，1/4“和1/2”墊圈封口，各種法蘭※

 

 
 

排氣過(guò)濾器

 

  • FBA系列： 過(guò)濾精度0.003μm

特點(diǎn)

  • 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
  • 優(yōu)良的耐熱性
  • *過(guò)濾精度
  • 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>

 

特點(diǎn)

  • 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
  • 優(yōu)良的耐熱性
  • *過(guò)濾精度
  • 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>

  • 特點(diǎn)

  • 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
  • 優(yōu)良的耐熱性
  • *過(guò)濾精度
  • 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>

  • 特點(diǎn)

  • 全材質(zhì)用不銹鋼SUS316L
  • 優(yōu)良的耐熱性
  • *過(guò)濾精度
  • 圓筒型過(guò)濾體可以從頂端和周?chē)寂艢?/li>

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