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日本ACE壓力控制器AP250 / AP500
更新日期:2024-05-11
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廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:
簡要描述:
日本ACE壓力控制器AP250 / AP500AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當(dāng)于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。
日本ACE壓力控制器AP250 / AP500
日本ACE壓力控制器AP250 / AP500
AP250 / AP500
AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當(dāng)于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。
此外,外部安裝有壓力傳感器,來自傳感器的信號輸入到氣壓控制單元,氣壓控制組的閥被開/關(guān)控制,以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器中球罩的內(nèi)部壓力自動調(diào)節(jié)以匹配任何設(shè)定的壓力值。通過將流量傳感器安裝到外部,它也可以用作流量控制器。
AP250的控制流量為5001 / min,AP500的控制流量為2000L / min,兩種類型的控制壓力約為600kPa。
壓力接頭與適用于AP250的1/2“ VCR和等同于AP500的3/4” SWAG等效或適用于AP500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體,用于導(dǎo)體,惰性氣體,腐蝕性氣體,危險氣體等可以使用。
模型 | AP250 | AP500 |
主要用途 | 對于FPD,燃料電池 | 對于FPD,燃料電池 |
目標(biāo)氣體 | N2,空氣,H2等 | N2,空氣,H2等 |
入口壓力 | 999kPa以下 | 999kPa以下 |
耐壓 | 小于1500kPa | 小于1500kPa |
壓力設(shè)定 | 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 | 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 |
控制方式 | 圓頂內(nèi)部的氣動控制 | 圓頂內(nèi)部的氣動控制 |
控制壓力 | 0-500kPa | 0-500kPa |
流量 | 500L /分鐘 | 2000L /分鐘 |
響應(yīng)時間 | 1秒鐘達到設(shè)定值 | 1秒鐘達到設(shè)定值 |
輸入信號 | 0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉 | 0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉 |
RS485 | RS485 | |
外部傳感器輸入 | (4至20mA標(biāo)準(zhǔn)) | (4至20mA標(biāo)準(zhǔn)) |
輸出信號 | 報警輸出,RS485 | 報警輸出,RS485 |
管件 | 相當(dāng)于1/2英寸的VCR或相當(dāng)于1/2英寸的世偉洛克 | 相當(dāng)于3/4英寸的VCR或相當(dāng)于3/4英寸的世偉洛克 |
閥座泄漏 | 10-5Pa ? m3 /秒以下 | 10-5Pa ? m3 /秒以下 |
準(zhǔn)確性 | 取決于壓力傳感器的規(guī)格 | 取決于壓力傳感器的規(guī)格 |
電源電壓 | 24VDC±10% | 24VDC±10% |
目前的消費 | 200mA以下 | 200mA以下 |
工作溫度 | 0-50℃無凝結(jié) | 0-50℃無凝結(jié) |
面之間的外部尺寸 | 寬70×深145×高124mm | 寬80×深178×高170mm |
壓力傳感器 | 無(外部) | 無(外部) |
顯示設(shè)定裝置 | 是(可以單獨安裝) | 是(可以單獨安裝) |