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    電子元件氧氣計-日本TORAY氧化鋯式氧氣計產(chǎn)品介紹

    發(fā)布時間: 2021-08-24  點擊次數(shù): 754次

    電子元件氧氣計-日本TORAY氧化鋯式氧氣計產(chǎn)品介紹

    MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860


    氧氣計 MS-500

    MS-500

    • 最多可同時測量 8 個點

    • 可以顯示從 ppm 級到 99% 的各種濃度。

    • 適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等上。

    • 傳感器為直插式(NW 法蘭用于真空 16/25/40)

    • 高度耐用的傳感器采用特殊涂層,以進(jìn)一步提高耐用性。

    MS-500 設(shè)備規(guī)格

    測量原理氧化鋯濃縮電池供電
    形狀分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直插式)
    顯示方式數(shù)字4位顯示(濃度顯示)
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
    自動量程
    重復(fù)性在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多
    ± 1% FS 或更少或 ±
    0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm,atm 范圍超出保證濃度范圍
    測量點數(shù)1-8
    樣氣條件壓力10 -3~ 200 KPa(絕壓)
    流量0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然擴散狀態(tài)的測量)
    濕度露點低于環(huán)境溫度
    溫度0-100℃
    其他不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。
    比較氣體氣氛
    錄音機輸出僅傳輸輸出
    傳輸輸出RS-232C
    報警輸出沒有
    預(yù)熱時間6分鐘內(nèi)
    尺寸MS-500(控制器)92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分)
    MS-510(轉(zhuǎn)換器)100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分)
    傳感器單元SD16NW全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,本體部分Φ40×51)
    SD25NW全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,本體部分Φ40×48)
    SD40NW全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,本體部分Φ40×49)
    質(zhì)量MS-500(控制器)約0.6Kg
    MS-510(換能器)約0.5kg
    傳感器單元SD16NW約0.2Kg
    SD25NW約0.2Kg
    SD40NW約0.35Kg
    外部連接真空法蘭之一(NW16、25、40)
    使用的電源24VDC ± 10%

    氧氣計LC-450A、LC-450D

    LC-450A、LC-450D


    • 可以顯示從測量的ppm 水平到 99% 的廣泛濃度范圍。

    • 提高傳感器的耐用性
      氧傳感器經(jīng)過特殊處理以提高其耐用性。

    • 交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
      * LC-450D由24V DC驅(qū)動

    • 緊湊且易于安裝
      深度比我們的傳統(tǒng)型號更短,并且不占用太多空間。

    • 符合 RoHS 指令的產(chǎn)品

    • CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
      EN61010-1:2002、EN61326:+A3:2003

    LC-450A 設(shè)備規(guī)格

    測量原理氧化鋯濃縮電池供電
    形狀桌面型/面板安裝型
    顯示方式數(shù)字4位顯示(濃度顯示)
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程
    重復(fù)性± 1% FS 0-1ppm內(nèi),atm范圍超出保證濃度范圍
    抽樣方法內(nèi)置泵連續(xù)吸入型
    樣氣條件壓力加壓30KPa以下
    流量1,000-2,000 毫升/分鐘
    濕度露點低于環(huán)境溫度
    溫度0-50℃
    其他不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。
    比較氣體氣氛
    錄音機
    輸出
    氧氣濃度輸出在 4-20mA 和 0-20mA 之間切換(可選 0-10V) 絕緣,負(fù)載電阻 550Ω 或更少
    記錄儀輸出范圍是滿量程,線性輸出到氧氣濃度
    輸出范圍0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程
    傳輸輸出RS-232C
    報警輸出FAIL(設(shè)備錯誤)1分無電壓接點,接點容量30VDC/AC以下,0.5A以下
    因設(shè)備異常接點閉合(接點動作可變更)
    ALM(濃度報警)2 分(高 / 高)無電壓接點,接點容量 30VDC/AC 以下,0.5A 以下,
    發(fā)生報警時接點閉合(接點動作可變更)
    RDY(預(yù)熱信號)1分無電壓接點,接點容量30VDC/AC以下,0.5A以下
    • 無電壓接點的最小開關(guān)容量為12V以上,無法處理微小負(fù)載。

    MRK(范圍標(biāo)記)輸出2分無電壓接點,接點容量30VDC/AC以下,0.5A以下
    預(yù)熱時間5分鐘內(nèi)
    尺寸身體210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm(不包括突出部分)
    質(zhì)量約6kg
    氣體
    連接口
    入口RC1 / 4
    旁路輸出RC1 / 4
    奧特萊斯RC1 / 4
    使用的電源100-240VAC, 50VA (穩(wěn)定: 35VA) 50Hz / 60Hz

    LC-450D 設(shè)備規(guī)格

    測量原理氧化鋯濃縮電池供電
    形狀桌面型/面板安裝型
    顯示方式數(shù)字4位顯示(濃度顯示)
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程
    重復(fù)性± 1% FS 0-1ppm內(nèi),atm范圍超出保證濃度范圍
    抽樣方法內(nèi)置泵連續(xù)吸入型
    樣氣條件壓力加壓30KPa以下
    流量~ 1,500L/分鐘
    濕度露點低于環(huán)境溫度
    溫度0-50℃
    其他不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。
    比較氣體氣氛
    錄音機
    輸出
    氧氣濃度輸出0-10VDC,絕緣,負(fù)載電阻600kΩ或多個
    (可選:4-20mA的DC,絕緣,負(fù)載電阻550Ω或更?。?/span>
    記錄器輸出范圍是滿量程和線性輸出到氧濃度
    輸出范圍0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程
    傳輸輸出RS-232C
    報警輸出FAIL(設(shè)備錯誤)1分無電壓接點,接點容量30VDC/AC以下,0.5A以下
    因設(shè)備異常接點閉合(接點動作可變更)
    ALM(濃度報警)2 分 (L / LL)無電壓接點,接點容量 30VDC/AC 以下,0.5A 以下,
    發(fā)生報警時接點閉合(接點動作可變更)
    RDY(預(yù)熱信號)1分無電壓接點,接點容量 30VDC/AC 以下,0.5A 以下
    預(yù)熱運行時接點閉合(接點動作可變更)
    • 無電壓接點的最小開關(guān)容量為12V或20mA以上,無法處理微小負(fù)載。

    MRK(范圍標(biāo)記)輸出2分無電壓接點,接點容量30VDC/AC以下,0.5A以下
    預(yù)熱時間5分鐘內(nèi)
    尺寸身體240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm(不包括突出部分)
    質(zhì)量約5公斤
    氣體
    連接口
    入口RC1 / 8
    旁路輸出RC1 / 8
    奧特萊斯RC1 / 8
    使用的電源24VDC ± 10%,1.25A(30VA,穩(wěn)態(tài))

    氧氣計LC-860

    LC-860

    • 低濃度測量 可測量從
      ppb級到99%

    • 操作簡單
      按鍵操作簡單

    • 吹掃功能
      比較 氣體更穩(wěn)定,測量精度更高(帶吹掃功能的規(guī)格)。

    • 高可靠性傳感器 傳感器
      內(nèi)部也可進(jìn)行劣化防止處理(可選)

    LC-860 設(shè)備規(guī)格

    測量原理氧化鋯濃縮電池供電
    形狀桌面型/面板安裝型
    顯示方式數(shù)字6位顯示(濃度顯示)
    測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
    自動/固定量程
    重復(fù)性
    氧濃度在±1%FS以內(nèi),小于1ppm和0-1ppm,atm范圍在保證濃度范圍之外
    抽樣方法內(nèi)置泵連續(xù)吸入型
    樣氣條件壓力加壓30KPa以下
    流量~ 1,500 毫升/分鐘
    濕度露點低于環(huán)境溫度
    溫度0-50℃
    其他不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。
    比較氣體氣氛
    錄音機
    輸出
    氧氣濃度輸出4-20mA / 0-10V 4-20mA
    : 絕緣,負(fù)載電阻 600Ω 或更小
    0-10V: 絕緣,負(fù)載電阻 500Ω 或更大
    記錄儀輸出范圍是滿量程,線性輸出到氧濃度
    輸出范圍0-99%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0 或任何4個范圍的自動/固定范圍
    傳輸輸出RS-232C
    報警輸出FAIL(設(shè)備錯誤)1分無電壓接點,接點容量24VDC/AC以下,0.1A以下
    因設(shè)備異常接點閉合(接點動作可變更)
    ALM(濃度報警)2分無電壓接點,接點容量 24VDC/AC 以下,0.1A 以下,
    發(fā)生報警時接點閉合(接點動作可變更)
    RDY(預(yù)熱信號)1分無電壓接點,接點容量 24VDC/AC 以下,0.5A 以下
    預(yù)熱動作時接點閉合(接點動作可變更)
    • 無電壓觸點的最小開關(guān)容量為12V以上,無法處理微小負(fù)載。

    MRK(范圍標(biāo)記)輸出3分無電壓接點,接點容量24VDC/AC以下,0.1A以下
    預(yù)熱時間20分鐘內(nèi)
    尺寸身體288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm(不包括突出部分)
    質(zhì)量約10公斤
    氣體
    連接口
    入口RC1 / 8
    旁路輸出RC1 / 8
    奧特萊斯RC1 / 4
    使用的電源100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz




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